تأثیر لایه های مختلف اکسید بر خواص حسگری فیلم آلومینای آندی نانوحفره دار

Abstract

چکیده ۰ مولار و با ولتاژ آنده ۱۷۵ ولت ساخته / در کار حاضر، قالب اکسید آلومینیوم آنده شده به وسیل ة روش آندة نرم شتاب دار و در اسید فسفریک ۶ ۳۲ و ۴۰ دقیقه افزایش داده ،۱۶ ، ۰ مولار و در مدت زما نهای مختلف ۸ / شد. قطر حفره ها توسط سونش شیمیایی نمونه ها در اسید فسفریک ۵ شد. بررسی تصاویر میکروسکوپ الکترونی نشان داد که قطر حفره ها با زمان سونش به صورت نمایی افزایش می یابد. با لایه نشانی الکترو دهای برای طیف سنجی امپدانسی، مشخصات حسگری نمونه های ساخته شده نسبت به رطوبت RC نقره روی نمونه ها و سپس با استفاده از یک مدار مورد بررسی قرار گرفت . اندازهگیریها نشان داد که بیشترین میزان پاسخ حسگری نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با ۴۰ دقیقه سونش میباشد. برای این حسگر آستانة رطوبت نسبی قابل آشکار سازی ۳۰ درصد و زمان پاسخ و بازیافت به ترتیب ۸ و ۲ ثانیه بود.