لایه نشانی خراشان: یک روش برای ساخت لایه‎ های نازک روی سولفید با ضریب شکست متفاوت

Abstract

مواد نیمرسانای لایه نازک به دلیل خواص اپتیکی خود، در صنایع مختلفی مورد استفاده قرار می‌گیرند. یکی از این مواد روی‌سولفید است که مطالعه و بررسی رفتار این ماده مورد توجه محققان قرار دارد. یکی از روش‎ های لایه‎نشانی، لایه نشانی در حالت مایل (خراشان) است. در این مقاله به بررسی طیف عبور لایه نازک روی سولفید و همچنین بررسی ساختار لایه نازک شکل گرفته در حالت مایل می‌پردازیم. همانطور که با استفاده از شبیه‎سازی پیش‎بینی شده بود به ازای افزایش ضخامت تعداد نقاط بیشینه و کمینه طیف عبور لایه نازک افزایش پیدا می‎کند. همچنین به ازای افزایش ضخامت میزان عبور نور کاهش پیدا می‌کند. در نمونه‌ای که در حالت مایل لایه‎نشانی شد ریزساختارهای ستونی با هندسه خود متشابه تشکیل شد و همچنین شاهد کج شدگی ستون‌ها در این نمونه بودیم. با استفاده از روش سوان پول می توان ضریب شکست اپتیکی این ساختارها را محاسبه کرد.