ساخت تراشه اپتیکی به منظور استفاده در دستگاه های تشدید پلاسمون سطحی

Authorsزهره رحیم ابادی,مهرداد مرادی کاونانی,رمضانعلی طاهری
Conference Titleسی و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک و هفدهمین کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایرا ن
Holding Date of Conference۲۰۲۵-۰۲-۰۵ - ۲۰۲۵-۰۲-۰۶
Event Place1 - تهران
Presented byدانشگاه علم و صنعت
PresentationSPEECH
Conference LevelNational Conferences

Abstract

در این مقاله ساخت تراشه اپتیکی سه لایه شیشه/کروم/طلا به منظور استفاده در دستگاه تشدید پلاسمون سطحی SPR مورد بررسی قرار گرفته است. از دستگاه لایه نشانی تبخیر حرارتی برای نشاندن لایه ای کروم و طلا استفاده شده است از انکا که ضخامت یه این تراشه از اهمیت ویژه ای برخوردار هستتند، از تواویر میکروسکوپ الکترونی برای کالیبره کردن ن دستگاه و همچنین بررسی مورفولوژی سطح استفاده شده است. طی ولای دو یه شیشه/کروم و ساه یه شیشه/کروم/طلا نیا اندازه گیری و مقایسه شدند نتایج پراش پرتو ایکس تشکیل یه طلا به صورت بلوری را تایید کردند.

Paper URL

tags: تراشه، تشدید پلاسمون سطحی، کالیبراسیون، لایه نشانی، میکروسکوپ الکترونی