بررسی اپتیکی و الکتریکی سه لایه¬ای نانو ساختار MoO۳/Ag/MoO۳ به عنوان الکترود شفاف در ادوات اپتوالکترونیکی

Authorsسیدسعید موسویان,سیدمحمدباقر قریشی
Conference Titleچهارمین همایش ملی و کارگاه‌های تخصصی علوم و فناوری نانو
Holding Date of Conference۲۰۱۹-۰۸-۲۲ - ۲۰۱۹-۰۸-۲۳
Event Place1 - یزد
Presented byدانشگاه یزد
PresentationSPEECH
Conference LevelNational Conferences

Abstract

در این پژوهش سه لایه¬ای نانوساختار MoO3/Ag/MoO3 (MAM) طراحی و ضخامت¬های بهینه لایه¬ها برای رسیدن به مقاومت سطحی پایین و شفافیت اپتیکی بالا در ناحیه مرﺋﻲ محاسبه شد که ضخامت¬های بهینه به صورت air/MoO3(19nm)/Ag(12nm)/MoO3(38nm)/glass به¬دست آمد. سپس سه¬¬ لایه¬ای¬های MAM با ضخامت¬های بهینه محاسبه شده روی زیر لایه¬های شیشه¬ای با روش تبخیر حرارتی انباشت شدند. بعد از لایه¬نشانی، نمونه¬ها در هوا در دماهای 200 درجه سانتیگراد بازپخت شدند و تأثیر بازپخت بر روی مقاومت سطحی و عبور اپتیکی در ناحیه مرﺋﻲ بررسی شد. در نهایت سه لایه¬ای MAM با مقاومت سطحی (□/Ω) 4.15و تراگسیل در ناحیه مرﺋﻲ در طول موج 550 نانومتر 48٪ و فاکتور شایستگی 5.208*10^-5/Ω به¬دست آمد..

tags: MoO3/Ag/MoO3، مقاومت سطحی، تراگسیل اپتیکی، بازپخت