| نویسندگان | زهره رحیم ابادی,مهرداد مرادی کاونانی,رمضانعلی طاهری |
|---|---|
| همایش | سی و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک و هفدهمین کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایرا ن |
| تاریخ برگزاری همایش | ۲۰۲۵-۰۲-۰۵ - ۲۰۲۵-۰۲-۰۶ |
| محل برگزاری همایش | 1 - تهران |
| ارائه به نام دانشگاه | دانشگاه علم و صنعت |
| نوع ارائه | سخنرانی |
| سطح همایش | ملی |
چکیده مقاله
در این مقاله ساخت تراشه اپتیکی سه لایه شیشه/کروم/طلا به منظور استفاده در دستگاه تشدید پلاسمون سطحی SPR مورد بررسی قرار گرفته است. از دستگاه لایه نشانی تبخیر حرارتی برای نشاندن لایه ای کروم و طلا استفاده شده است از انکا که ضخامت یه این تراشه از اهمیت ویژه ای برخوردار هستتند، از تواویر میکروسکوپ الکترونی برای کالیبره کردن ن دستگاه و همچنین بررسی مورفولوژی سطح استفاده شده است. طی ولای دو یه شیشه/کروم و ساه یه شیشه/کروم/طلا نیا اندازه گیری و مقایسه شدند نتایج پراش پرتو ایکس تشکیل یه طلا به صورت بلوری را تایید کردند.
کلیدواژه‌ها: تراشه، تشدید پلاسمون سطحی، کالیبراسیون، لایه نشانی، میکروسکوپ الکترونی