اندازه گیری هیدروژن در عمق نمونه¬ی سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس‌زده از برخورد کشسان

Abstract

سیلیکان متخلخل(PS) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول HF+DMF بدست می¬آید. در فرآیند تشکیل حفره¬ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن‌دار در سطح دیواره¬های حفره¬ها ایجاد میشوند. در این تحقیق با اندازه‌گیری میزان هیدروژن در عمق نمونه¬ی PS، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است. با توجه با ناکارآمدی نرم افزارهای شبیه‌سازی متداول آنالیز با باریکه یونی، برنامه مناسبی برای شبیه‌سازی به روش مونت-کارلو نوشته شد تا نزدیکترین توزیع به نتیجه¬ی آزمایش بدست آید. غلظت هیدروژن در عمق نمونه متناسب با میزان تخلخل در نظر گرفته شده است. نتیجه‌ی بدست آمده نشان می دهد که بیشترین تخلخل برای نمونه 90% بوده است که در عمق nm 139- 69 ایجاد شده است